介電強(qiáng)度測(cè)試方法，薄膜殘余應(yīng)力檢測(cè)
有損測(cè)試分為部分釋放法、完全釋放法等；無(wú)損測(cè)試分為壓痕應(yīng)變法、X射線衍射法、超聲法、磁性法、同步輻射法與中子衍射法等。以下將做詳細(xì)介紹：
壓痕應(yīng)變法
壓痕應(yīng)變法是一種利用球形壓痕誘導(dǎo)產(chǎn)生的應(yīng)變?cè)隽繙y(cè)定殘余應(yīng)力的方法。有無(wú)損、操作簡(jiǎn)單、適用范圍廣、精度高等優(yōu)點(diǎn)。
缺點(diǎn)：只能用于平面應(yīng)力的測(cè)定，對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的處理比較復(fù)雜。
超聲法
由于超聲波的方向性好、穿透能力強(qiáng)、可以沿試樣表面?zhèn)鞑?，因此可以檢測(cè)試樣表面以及大體積范圍的內(nèi)部殘余應(yīng)力，環(huán)形件殘余應(yīng)力測(cè)定也十分適用
